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Dynamic Focus Tracking

Allegro Dynamic Focus Tracking
Dynamic Focus Tracking
Wellige Substrate verursacht durch Hochtemperatur-Beschichtungsprozesse und/oder kleine Prozessfenster beispielsweise bei Verwendung von TopHat-Intensitätsprofilen verschlechtern maßgeblich das Ergebnis des Laser Scribings und vermindern damit die Prozessstabilität und Moduleffizienz.

Das System der dynamischen Fokusnachführung (Dynamic Focus Tracking) hält die Laserstrahlen im Bearbeitungskopf während der Laserstrukturierung in seiner Fokusebene.


Das Resultat ist ein optimales Prozessergebnis ohne Beeinflussung der Taktzeit oder Erhöhung der Systemkomplexität.

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